Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi

BAZKIR, Özcan; SEZER, Oben; SEL, Kıvanç; ÖZDEMİR, Orhan; KATIRCIOĞLU, Bayram; ATILGAN, İsmail; AKAOĞLU, Barış

Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi

Yürütücü

İsmail ATILGAN (Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Edebiyat Fakültesi, Fizik Bölümü, Ankara, Türkiye)

Araştırmacı(lar)

Bayram KATIRCIOĞLU, (Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Edebiyat Fakültesi, Fizik Bölümü, Ankara, Türkiye)

Orhan ÖZDEMİR, (Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Edebiyat Fakültesi, Fizik Bölümü, Ankara, Türkiye)

BARIŞ AKAOĞLU, (Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Edebiyat Fakültesi, Fizik Bölümü, Ankara, Türkiye)

Özcan BAZKIR, (Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Edebiyat Fakültesi, Fizik Bölümü, Ankara, Türkiye)

Oben SEZER, (Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Edebiyat Fakültesi, Fizik Bölümü, Ankara, Türkiye)

Kıvanç SEL (Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Edebiyat Fakültesi, Fizik Bölümü, Ankara, Türkiye)

2 2

Proje Grubu: TBAG Sayfa Sayısı: 109 Proje No: 199T071 Proje Bitiş Tarihi: 01.02.2001 Metin Dili: Türkçe İndeks Tarihi: 29-07-2022

Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi

Öz:

ODTÜ Fizik bölümü Katıhal Elektronik Laboratuvarı'nda (KEL) bulunan plazma destekli kimyasal buhar biriktirme düzeneğinde (PECVD), çeşitli tabanlar üzerine a-SiCx:H filmler büyütülerek kızıl altı soğurma (FTIR), görünür bölge optik soğurma ve özdirenç ölçümleriyle hem yasak enerji, hem de yapısal düzen yönünden film büyütme koşullan belirlenmiştir. Arkasından n ve p türü kaplama süreçleri de düzenli bir biçimde ele alınarak başarılmıştır. Son olarak, p-i-n yapılar oluşturularak yayınlanan ışık kaydedilip, dalga boyu dağılımı çıkarılmıştır.

Anahtar Kelime:

Erişim Türü: Erişime Açık

APA	ATILGAN İ, KATIRCIOĞLU B, ÖZDEMİR O, AKAOĞLU B, BAZKIR Ö, SEZER O, SEL K (2001). Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. , 1 - 109.
Chicago	ATILGAN İsmail,KATIRCIOĞLU Bayram,ÖZDEMİR Orhan,AKAOĞLU Barış,BAZKIR Özcan,SEZER Oben,SEL Kıvanç Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. (2001): 1 - 109.
MLA	ATILGAN İsmail,KATIRCIOĞLU Bayram,ÖZDEMİR Orhan,AKAOĞLU Barış,BAZKIR Özcan,SEZER Oben,SEL Kıvanç Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. , 2001, ss.1 - 109.
AMA	ATILGAN İ,KATIRCIOĞLU B,ÖZDEMİR O,AKAOĞLU B,BAZKIR Ö,SEZER O,SEL K Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. . 2001; 1 - 109.
Vancouver	ATILGAN İ,KATIRCIOĞLU B,ÖZDEMİR O,AKAOĞLU B,BAZKIR Ö,SEZER O,SEL K Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. . 2001; 1 - 109.
IEEE	ATILGAN İ,KATIRCIOĞLU B,ÖZDEMİR O,AKAOĞLU B,BAZKIR Ö,SEZER O,SEL K "Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi." , ss.1 - 109, 2001.
ISNAD	ATILGAN, İsmail vd. "Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi". (2001), 1-109.

APA	ATILGAN İ, KATIRCIOĞLU B, ÖZDEMİR O, AKAOĞLU B, BAZKIR Ö, SEZER O, SEL K (2001). Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. , 1 - 109.
Chicago	ATILGAN İsmail,KATIRCIOĞLU Bayram,ÖZDEMİR Orhan,AKAOĞLU Barış,BAZKIR Özcan,SEZER Oben,SEL Kıvanç Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. (2001): 1 - 109.
MLA	ATILGAN İsmail,KATIRCIOĞLU Bayram,ÖZDEMİR Orhan,AKAOĞLU Barış,BAZKIR Özcan,SEZER Oben,SEL Kıvanç Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. , 2001, ss.1 - 109.
AMA	ATILGAN İ,KATIRCIOĞLU B,ÖZDEMİR O,AKAOĞLU B,BAZKIR Ö,SEZER O,SEL K Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. . 2001; 1 - 109.
Vancouver	ATILGAN İ,KATIRCIOĞLU B,ÖZDEMİR O,AKAOĞLU B,BAZKIR Ö,SEZER O,SEL K Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi. . 2001; 1 - 109.
IEEE	ATILGAN İ,KATIRCIOĞLU B,ÖZDEMİR O,AKAOĞLU B,BAZKIR Ö,SEZER O,SEL K "Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi." , ss.1 - 109, 2001.
ISNAD	ATILGAN, İsmail vd. "Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi". (2001), 1-109.