Sencer KOÇ
(Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü, Ankara, Türkiye)
Kağan TOPALLI
(Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü, Ankara, Türkiye)
İpek İSTANBULLOĞLU
(Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü, Ankara, Türkiye)
Emre ERDİL
(Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü, Ankara, Türkiye)
Sinan ONAT
(Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü, Ankara, Türkiye)
Tayfun AKIN
(Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü, Ankara, Türkiye)
Özlem ÇİVİ
(Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü, Ankara, Türkiye)
Şimşek DEMİR
(Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü, Ankara, Türkiye)
Mehmet ÜNLÜ
(Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Bölümü, Ankara, Türkiye)
Proje Grubu: TÜBİTAK EEEAG ProjeSayfa Sayısı: 68Proje No: 101E023Proje Bitiş Tarihi: 01.03.2005Türkçe

0 0
MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi
RF MEMS (Radyo Frekansı Mikro-Elektro-Mekanik Sistemleri) elemanları, mikrodalga frekanslarda çalışan devrelerde kullanılmak üzere fotolitografik işlemlerle üretilen elemanlardır. Bu elemanlar, ucuz, düşük güç harcayan, hafif ve küçük sistemler geliştirilmesine olanak vermektedir. RF uygulamalar için, kapalı olduğunda düşük araya sokma yitimine sahip ve açık olduğunda yüksek izolasyon sağlayan mikro mekanik anahtarlar, faz kaydırıcılar, empedans uyumlama devreleri ya da faz dizili antenler bu teknoloji ile üretilebilmektedir. RF MEMS'in bu özellikleri ve kritik alanlardaki uygulamaları sebebi ile, MEMS teknolojisiyle RF devre elemanları geliştirmek üzere, Orta Doğu Teknik Üniversitesindeki (ODTÜ) Mikrodalga Grubu ve MEMS grubu ortak bir çalışma başlatmıştır. Ortak çalışma, RF MEMS konusunda bir bilgi birikimi oluşturmak için geniş bir literatür taraması ile başlamıştır. Edinilen bilgiler ışığında yeni RF MEMS yapıları tasarlanmış ve bu yapıların teorik olarak çalıştıkları HFSS ve MEMCAD yazılımları kullanılarak gösterilmiştir. Bu raporda ODTÜ'de TÜBİTAK desteğiyle gerçekleştirilmiş 101E023 numaralı "MEMS Teknolojisi ile RF Devre Elemanlarının Geliştirilmesi" projesi kapsamında yapılan işler anlatılmaktadır. ODTÜ Mikroelektronik Tesisleri'nde gerçekleştirilen üretim süreçleri, yapılan benzetimlerin sonuçları, ve tüm bunlar ile tasarlanan, üretilen ve test edilen anahtarlar, faz kaydırıcılar, empedans uyumlama devreler ve faz dizili antenler bu raporun kapsadığı konulardır.

TÜBİTAK ULAKBİM Ulusal Akademik Ağ ve Bilgi Merkezi Cahit Arf Bilgi Merkezi © 2019 Tüm Hakları Saklıdır.